Kev Tiv Thaiv Kab Mob Teeb Meem nrog Semiconductor Wafer Tool Cartridge rhaub

Kev Tiv Thaiv Kab Mob Teeb Meem nrog Semiconductor Wafer Tool Cartridge rhaub

Txhua yam khoom siv hauv chav huv huv yuav tsum ua raws li nruj me ntsis- cov txheej txheem tawm vim tias muaj cov kab mob thiab cov hlau tsis huv yog qhov txaus ntshai heev hauv kev tsim khoom semiconductor wafer. Txawm hais tias qis- cov khoom siv hluav taws xob zoo tuaj yeem ua rau cov hlau vapors los yog micro- cov khoom ntawm qhov kub thiab txias thiab ua rau muaj kev puas tsuaj rau qhov chaw wafer, ntau tus kws tsim khoom tsis xav txog cov khoom cua sov los ntawm kev sib kis. Thaum xaiv lub tshuab rhaub dej kub rau cov cuab yeej semiconductor wafer, kev tswj kev sib kis thiab lub zog yuav tsum tau txiav txim siab ntxiv rau ultra- cov cai huv.

Kev tshawb pom kev lag luam pom tau hais tias qhov kev pheej hmoo tsawg tshaj plaws rau cov khoom siv hluav taws xob semiconductor wafer tau nthuav tawm los ntawm cov tshuab cua sov ua haujlwm ntawm lub zog ceev ntawm 5-7 W / cm². Thaum lub tshuab rhaub dej kub nrog lub zog ntom ntom ntau dua 7 W / cm² ua haujlwm ntawm qhov kub hnyiab, cov khoom hlau raug tso tawm mus rau hauv lub chamber ib puag ncig thiab qhov chaw oxidation yog nrawm. Cov khoom no muaj peev xwm ua rau muaj teeb meem hauv Circuit Court thaum lawv tsaws ntawm qhov chaw wafer. Txawm hais tias cov khoom siv hluav taws xob uas muaj cua sov tsawg dua 5 W / cm² tswj qhov kub thiab txias thiab txo cov pa phem, lawv tsis tuaj yeem ua tau raws li qhov xav tau ntawm cov txheej txheem thermal ntawm ntau cov txheej txheem wafer. Rau cov cua sov cartridge, qhov 5-7 W / cm² yog li ua kom muaj kev sib npaug ntawm kev ua haujlwm tsis zoo thiab cov cua sov.

Tshwj xeeb huv- cov ntaub ntawv qib sheath yog siv nyob rau hauv lub cartridge rhaub rau ib tug semiconductor wafer txheej txheem nyob rau hauv siab -qib wafer cov cuab yeej. Incoloy 800 sheath txo qis hlau tawm thiab tiv thaiv oxidation ntawm qhov kub thiab txias. High-purity fused magnesium oxide nrog ib tug tsawg impurity feem pua ​​ua hauj lwm raws li lub cartridge tso cua sov cov ntaub ntawv nyob rau hauv lub muab tub lim, khaws cov volatile yam khoom los ntawm kev khiav los ntawm txawm lub me tshaj sheath qhov khoob. Ua ntej raug xa mus, tag nrho cov semiconductor- qib cartridge heaters mus txog qhov siab -kub ci- tawm cov txheej txheem los tshem tawm cov kab mob organic ntxiv. Qhov no ua kom ntseeg tau tias tsis muaj cov pa tawm tom qab lub tshuab rhaub cartridge tau teeb tsa hauv cov khoom siv wafer.

Cartridge rhaub kev sib xyaw ua ke yuav raug rau ntau txoj hauv kev tswj kev sib kis. Txhawm rau tiv thaiv kev ua txhaum ntawm cov plua plav saum npoo ua ntej pib, tag nrho cov cartridge rhaub tuav thiab teeb tsa yuav tsum tshwm sim hauv qhov chaw huv. Nws tsis raug nquahu kom siv cov khoom siv hluav taws xob puas tsuaj vim tias cov kab nrib pleb nthuav tawm cov khoom sab hauv thiab sawv cev rau kev pheej hmoo ntawm kev kis kab mob. Cartridge heater deg tshuaj ntsuam xyuas oxidation, flaking, los yog discoloration uas yuav yog cov cim qhia ntawm particle tso tawm thaum lub sij hawm tu. Tshaj- lub zog ua haujlwm, uas ua rau qhov kub thiab txias ntawm lub tshuab hluav taws xob hauv lub tshuab hluav taws xob siab tshaj qhov kev txwv tsim thiab ua rau cov khoom tsis zoo, yuav tsum zam los ntawm cov khoom siv hluav taws xob.

Lub zog ruaj khov thiab kev ua haujlwm tsis zoo yog cov yam ntxwv tseem ceeb ntawm cov khoom siv hluav taws xob siv hauv cov khoom siv semiconductor wafer. Lub qhov dej- tsim lub tshuab cua sov nrog lub zog ntom ntom ntawm 5–7 W / cm² muab cov cua sov tsim nyog thaum tswj cov kev phom sij ntawm cov khoom thiab cov khoom tawm. Nyob rau hauv precision semiconductor manufacturing, kev cai cleanroom- qib cartridge rhaub cov kev daws teeb meem tuaj yeem ua kom haum rau ntau yam khoom siv wafer tsim thiab chav huv huv, tiv thaiv wafer tawm los.